Aerotech 直线平台气浮平台详细介绍

Aerotech  ABG10000气浮平台

1气浮导轨实现超平滑运动

2所有轴都预加载荷

3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动

3行程达1mx1m

4非接触直线编码器(光栅)

5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱

6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．

行程≤1000mm

精度±2um

重复定位精度±0.5um

直线度±1um

平面度±1um

Aerotech高精密定位平台的详细描述：

    自1970年Aerotech开始研制性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和***，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。

Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：Dedicated to the Scienceof Motion。

ABL1000气浮平台

1专为高性能校准和装配应用设计

2分辨率达2nm的直线编码器反馈

3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)

4全预加负载气浮导轨(空气轴承)

5低噪音线性放大器

6全部非接触设计

行程≤150mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.05um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

ABL1500直线电机平台

1专为高性能扫描和检测应用设计

2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈

3全预加负载气浮导轨(空气轴承)

4大负载高刚性几何特性好

行程≤500mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.10um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

ABL2000气浮平台

1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计

2运动超平滑,速度稳定性突出

3直线编码器或激光干涉仪反馈

4行程达1.2米

5全预加负载气浮导轨(空气轴承)

6全部非接触设计

行程≤1200mm

精度±0.50um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.25um

平面度±0.25um

ABL3600气浮平台

1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测特应用设计

2双轴,大孔,开放式结构

3非接触直线编码器反馈,精度高

4双直线电机驱动XY轴

5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

行程≤250mm

精度±1um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.50um

平面度±1um

ABL8000气浮平台

1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计

2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性好

3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

4行程达1米

5直线编码器或激光干涉仪反馈

6可集成包括花岗岩的XY子系统

行程≤1000mm

精度±0.50um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.40um

平面度±0.40um

ABL9000气浮平台

1世上性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合

2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)

3行程达1.2米X1.2米

4Y轴双直线电机驱动

5直线编码器或激光干涉仪反馈

6主动控制偏转

行程≤1200mm

精度±0.50um

重复定位精度±0.10um

直线度±0.50um

平面度±0.50um

AHL9000直线电机平台

1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计

2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承

3行程达1.2米X1.2米

4双直线电机驱动步进轴

5直线编码器或激光干涉仪反馈

行程≤350mm

精度±1.0um

重复定位精度±0.20um

直线度±0.60um

平面度±0.60um

ABG10000气浮平台

1气浮导轨实现超平滑运动

2所有轴都预加载荷

3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动

3行程达1mx1m

4非接触直线编码器(光栅)

5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱

6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．

行程≤1000mm

精度±2um

重复定位精度±0.5um

直线度±1um

平面度±1um

ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位

2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）

3.1纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ALS25000 直线电机平台

1.防护金属导轨罩和侧面封闭可以适应恶劣的环境

2.完整的电缆管理系统

3.高性能直驱直线电机实现优良的伺服性能

4.紧凑结构以适应有限空间的应用需求

行程600mm

精度±1.0um

ANT95-XY系列双轴纳米平移台1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程

2.实现大行程纳米定位

3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）

4.1纳米的位置稳定性

5.抗爬行十字交叉滚珠轴承

6.高动态特性

ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位

2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）

3.2纳米的位置稳定性

4.抗爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ALS1000 直线电机平台

1.直驱直线马达实现超精密运动

2.长寿命直线运动导轨系统

3.2轴内部电缆管理系统

4.可选气体净化的密封设计

5.低成本，占地面小，高性能

行程450mm

精度±1.0um

负载50.0kg

ALS5000 直线电机平台

1.适合恶劣环境

2.坚.台面和导轨罩

3.完全整合电缆管理系统

4.高精度，非接触式直线编码器（光栅尺）

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

ALS5000WB 直线电机平台

1.宽底座可以承受较大的偏移负载

2.强大的双直线电机驱动

3.坚硬涂层台面和导轨罩

4.完全整合电缆管理系统

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

Aerotech精密转台的详细描述：

    自1970年Aerotech开始研制性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。 

Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：Dedicated to theScienceof Motion。 

Aerotech高精密转台，aerotech高精密气浮转台，aerotech高精密机械转台 

ABRS超精密转台 

ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供***的角度定位精度，的速度稳定性以及小的运动误差。 

ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。 

特点: 

1. 无刷无槽力矩电机直接驱动 

2. 的速度稳定性（无齿槽效应） 

3. 的运动性能，误差小，无抖动 

4. 直连式高精度圆光栅反馈 

5. 扁平结构设计 

6. 气浮轴承，无机械接触 

台面直径：128~278mm 

反馈分辨率：0.036~0.18 arc sec 

双向重复定位精度：<1arc sec 

定位精度： 2 arc sec 

异步轴跳： 20nm 

异步径跳： 20nm 

ABRT超精密转台 

1专为硅片检测，X射线衍射系统，光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计 

2无刷无槽伺服电机直接驱动 

3突出的速度稳定性，波动率低于万分之一（电机无接头效应） 

4的运动性能,误差小,无抖动 

5直联高精度旋转编码器 

6扁平结构设计 

7无机械接触 

台面直径100-200mm 

分辨率0.027-0.055arcsec 

双向重复定位精度<1arcsec 

定位精度<2 arc sec 

异步轴跳<20nm 

异步径跳<20nm 

AOM360D光电跟踪转台 

AOM360D定位装置能够提供的方位角和仰角值。级品质的电机，轴承和传感器组合而成的机架装置***了整体的性能。AOM360D被应用于使用传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测。其他应用包括方位校准，激光束指引，目标捕获及跟踪，照相机和光电望远镜的扫描和定位。 

特点： 

1. 所有轴均可360度旋转 

2. 超的定位精度和双向重复定位精度 

3. 的轴向摆动及正交性 

4. 无刷无槽力矩电机直接驱动 

5. 高精度圆光栅反馈 

6. 无齿槽设计提供的速度稳定性 

7. 热稳定性好于0.4 arc sec/摄氏度 

8. 负载直径可达500mm，负载质量可达50kg 

9. 可以用于真空环境 

负载直径193-485mm 

负载质量  20~50kg 

分辨率0.055arcsec 

双向重复定位精度1arcsec 

定位精度 2 arc sec 

方位角摆动  3 arc sec 

仰角摆动    5 arc sec 

AMG 系列1包括内置滑环,方位角和仰角连续360度旋转 

2高精度角度定位和角速度性能 

3直驱无刷伺服电机,零间隙 

4无嵌齿效应,突出的速度稳定性 

5适应的负载直径达600毫米 

6低维护和高稳定性,所有权成本 

分辨率.27μrad-0.13μrad 

孔径范围194mm-591mm 

负载20kg-70kg 

ADR系列直接驱动精密转台提供的角度定位和速度控制。

应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。 

特点： 

1.无刷力矩电机直接驱动 

2.无齿槽设计提供的速度稳定性 

3.的运动性能，误差小，无抖动 

4.直连式高精度圆光栅反馈 

5.高精度机械轴承支撑 

6.载荷可达150kg 

台面直径：57~240mm 

反馈分辨率：0.036~13 arc sec 

双向重复定位精度： 1arc sec 

定位精度： 2 arc sec 

轴跳： 0.5um 

径跳： 1um 

ARMS直驱旋转精密旋转平台 

1.设计来生成高运动 

2.在全部360°范围都能达到0.0001%速度稳定性 

3.定位分辨率0.02角秒 

4.有效负载230kg 

5.完整的导电环和不固定的旋转管套节 

6.可选直驱无刷电机以实现高转速和高扭矩输出 

孔径8mm-25mm 

分辨率0.02-2arcsec 

精度±2.5arcsec 

ALS20000 直线电机平台

1.保护金属导轨罩

2.完整的电缆管理系统

3.洁净空间应用的理想选择

4.紧凑的结构，高性能，直线电机平台

5.成像和扫描应用中具有优良的速度控制性能,适合成像和扫描应用

行程600mm

精度±1.0um

负载70.0kg

ABG10250-250  ABG10500-500  ABG10750-750  ABG11000-1000

ABG10250-250-10-NC-LT50AS