aerotech ANT130XY双轴XY纳米定位级平台详细介绍

aerotech ANT130XY双轴XY纳米定位级平台

我们的超精密ANT130XY载物台采用集成的双轴设计，可提供***的平面性能和***几何特性。ANT130XY载物台配备刚性、抗蠕变交叉滚子轴承、高分辨率位置反馈和无铁芯直线电机，可实现最平稳、最***的运动，并通过***精度2D校准进一步增强，以优化最苛刻的检测和制造工艺。此外，动态优化的设计可实现***速度和工艺吞吐量。

设计特点

增强的***代设计

实现最小增量运动至 0.5 nm - 新

通过集成的 XY 设计优化正交性、直线度和平整度

通过 ULTRA 校准选件*** ±225 nm 或更高的二维精度

采用高精度交叉滚子轴承，具有***动态性能和充足的负载能力

通过无铁芯直驱直线电机限度地提高过程吞吐量和可靠性

主要应用

ANT130XY非常适合需要高精度和动态定位性能的多轴应用，包括：

光子学组装和检查

光纤对准和优化

光学制造、测试和检验

传感器测试和认证

半导体加工和检测

表面计量和剖面测量

研究和实验室应用

超精密载物台设计

ANT130XY的集成双轴设计允许您优化关键的几何元素，如正交性，直线度和平整度，从而产生具有出色运动特性的载物台。我们的直接驱动技术没有滞后或间隙，可在 X 和 Y 尺寸上实现***且可重复的纳米级运动。ANT130XY 提供三种行程选项，范围从 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm，所有行程均具有 85 mm 的紧凑总高度。

非接触式直接驱动

只有非接触式直接驱动技术才能提供大规模生产精密设备所需的坚固、准确和高速定位。ANT130XY载物台使用我们***的直接驱动技术来实现水平的定位性能。ANT130XY 与抗蠕变交叉滚子轴承相结合，可提供超平稳、一致的运动和***动态特性，从而增强您的加工能力。优化的驱动和轴承组合采用紧凑的外形尺寸封装，在许多应用中具有明显的性能优势，例如高精度定位、光纤对准、光学制造和检测、传感器测试和扫描过程，这些都需要平稳和***的运动。

灵活的系统设计

ANT130XY 系列具有通用安装和桌面模式，便于系统集成。ANT130XY载物台可轻松与其他产品（包括ANT130LZ、ANT130R、ANT130V、ANT20G等）结合使用，以提供复杂、多自由度的运动和定位解决方案。

***性能等级选项

为了从我们的多轴纳米定位系统获得的系统精度，我们开发了一种***的动态轨迹校准系统。为了利用这种复杂的校准系统，机械系统在我们***的计量实验室中进行了完全组装、功能测试和校准。纳米级系统精度只能在严格的环境条件下实现，这些条件确保使用的测试设备进行校准，使用我们***的控制器的精度机械元件和ULTRA软件功能。通过使用ANT130XY实现ULTRA动态轨迹校准，我们能够产生±225 nm或更好的***二维精度。

规格中提供的曲线说明了标准 ANT130XY 与 ULTRA 版本之间的性能差异。ULTRA 校准几乎消除了偏航引起的直线度、正交性和精度误差。